Setra 227 型壓力變送器專為高密度的模塊式“Block”氣體棒和面板設(shè)計(jì),能夠滿足如今300 mm 工具的要求。該型號(hào)占用空間僅11/8″,能節(jié)省寶貴的空間;結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,是要求長(zhǎng)期穩(wěn)定性、高精度和適合在惡劣環(huán)境使用的壓力測(cè)量的理想選擇。與其他采用大體積封頭腔室的產(chǎn)品不同,Setra 227 型壓力變送器采用了易于吹掃的小型傳感器腔室設(shè)計(jì)。所有接液部件均采用VIM/VAR 316L 不銹鋼制造,且表面鈍化拋光至5 Ra(最大7 Ra),確保表面平整且耐化學(xué)腐蝕,實(shí)現(xiàn)無污染氣體輸送。
■ 泄露率低
■ VCR 接頭
■ 易于吹掃的小腔室
■ 200PSI/250PSI/3000PSI
特性
·316 L VIM/VAR 不銹鋼
·表面拋光度7 Ra
·VCR 接頭
·1×10-9 ATM.CC/sec 級(jí)別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)
·抗電磁干擾/ 射頻干擾,可防止誤停機(jī)
·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證,適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域
·符合CE 標(biāo)準(zhǔn)要求
·符合RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求
應(yīng)用
·11/8″“Block”氣體棒和面板
·高純度氣體輸送系統(tǒng)
·半導(dǎo)體過程工具
性能參數(shù)
物理參數(shù)
精度RSS1(恒溫下)
±0.25%FS或±1.0%讀數(shù)
殼體
不銹鋼
非線性(最佳擬合直線)
±0.15%FS
電氣連接
6英尺多芯電纜、卡口或9針/15針D-SUB接頭
遲滯
0.20%FS
非重復(fù)性
0.02%FS
壓力接口
朝下安裝的C型或W型密封
溫度影響2
通氣
零點(diǎn)/量程調(diào)整裝置的檢修孔
溫度補(bǔ)償范圍
-9~65℃
重量
約184g
零點(diǎn)/滿程漂移
1.8%(%FS/100℃)
電氣參數(shù)(電流)
電氣參數(shù)(電壓型)
電路
2線
電壓
3線(COM,OUT,EXC)
輸出6
4~20mA7
輸出4
0~5VDC或0.2~5.2VDC5
0~10VDC或0.2~10.2VDC5
外部負(fù)載
0-800Ω
最小供電電壓(VDC)
10+0.02x(接收器附加導(dǎo)線電阻)
激勵(lì)
5V FSO(滿量程輸出)時(shí)為10~30VDC
10V FSO(滿量程輸出)時(shí)為13~30VDC
最大供電電壓(VDC)
30+0.004x(接收器附加掉線電阻)
環(huán)境參數(shù)
電流消耗
﹤8mA
工作溫度3
-40℃~+85℃
壓力介質(zhì)
存放溫度
-40℃~+85℃
與316不銹鋼兼容的氣體或液體
電流輸出型(訂購(gòu)N1選項(xiàng)時(shí))工作/儲(chǔ)存溫度
-30℃~+80℃
1.非線性、遲滯、非重復(fù)性的方和根
2.產(chǎn)品在21℃進(jìn)行標(biāo)定,最大溫度影響誤差由此數(shù)據(jù)得來
3.僅限電子元件的工作溫度限制,壓力介質(zhì)的溫度可能明顯較高或較低
4.采用50KΩ負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可在負(fù)載≥5KΩ時(shí)工作
5.零點(diǎn)(滿量程)輸出;對(duì)于5VDC輸出,出廠設(shè)置在±25mV以內(nèi)對(duì)于10VDC輸出,出廠設(shè)置在±50mV以內(nèi)
6.出廠標(biāo)定時(shí)采用250Ω負(fù)載,24VDC電源
7.零點(diǎn)(滿量程)輸出:出廠設(shè)置在±0.8BmA以內(nèi)
認(rèn)證
不易燃認(rèn)證;適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域的認(rèn)證;
北美;可選ETL認(rèn)證,適用于ANSI/SA-12.2.01-2011標(biāo)準(zhǔn)中列出的1類2區(qū)A、B、C、D組危險(xiǎn)區(qū)域
歐洲:可選用于標(biāo)準(zhǔn)EN60079-0;2012的ATEX94/9/EC2區(qū)認(rèn)證或
WN60079-15:20 10 11 3G Ex nA llC T4 Gc-30℃﹤Ta﹤+80℃認(rèn)證